半導(dǎo)體電阻率測試儀 電阻測量儀

半導(dǎo)體電阻率測試儀 電阻測量儀

BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀是根據(jù)四探針原理，作為普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器適合半導(dǎo)體器材廠、材料廠用于測量半導(dǎo)體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（薄層電阻）；也可以用作測量金屬薄層電阻。經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查，根據(jù)美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破。它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量精度高、穩(wěn)定性好、輸入阻抗高、使用方便、價格低等特點(diǎn)。

儀器分為電氣箱和測試架兩部分，儀器電氣箱由直流數(shù)字電壓表、高抗干擾、高度隔離性能的電源變換裝置，高穩(wěn)定、高精度的恒流源所組成。測量結(jié)果由LED數(shù)字顯示、零位穩(wěn)定、輸入組抗高，儀器并設(shè)有自校功能，在片狀材料測試時，具有系數(shù)修正功能，使用方便、測試架結(jié)構(gòu)新穎、外形美觀，探針為合金材料，配用寶石導(dǎo)向，具有測量精度高、游移率小、耐磨和壽命長的特點(diǎn)，而且壓力可調(diào)恒定，備有手動探針測試臺，自動控針測試臺，供用戶選擇。

 半導(dǎo)體電阻率測試儀 電阻測量儀

本儀器為國內(nèi)*新研制出的普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器，特別適合于薄片材料測量。儀器主要技術(shù)指標(biāo)

測量范圍：電阻率 10^-3∽10³ 分辯率為10^-4Ω—cm，可擴(kuò)展到10⁵Ω—cm

方塊電阻 10^-2Ω/10⁴Ω/□，分辯率為10^-3Ω/□，可擴(kuò)展到10⁸Ω/□

薄層金屬電阻 10^-4∽10⁵Ω，分辯率為10^-4Ω—cm

可調(diào)半導(dǎo)體材料尺寸：直徑：Φ15 ∽ Φ 100 mm

長度：150mm

3．測量方式：軸向、斷面均可

4．?dāng)?shù)字電壓表：（1）量程：20mV（分辯率：10μV）、

200mV（分辯率：100μV）、

2V（分辯率：1mV）、

  （2）測量誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

  (3)輸入阻抗:大于10⁸Ω

      (4)顯示3 1/2位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示,

0 ∽ 1999.具有極性、過載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示

5．恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能

直流電流：0 ∽ 100mA連續(xù)可調(diào)

量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

分辯率：10μA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

電流誤差:（±0.3%讀數(shù)±2字）

6.電性能模考核誤差:<±0.3% 符合ASTM指標(biāo)

7.測試探頭:   （1）探針間距：S  =  1mm

                                （2） 探針機(jī)械游移率: ±0.3%  

（3） (3)壓力恒定可調(diào)

8.電源:交流220V±10%  50HZ或60HZ  功率消耗 < 30W

9.電氣箱外形尺寸:199×440×280mm